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全自動半導體插片機

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全自動半導體插片機

  • 所屬分類:工業自動化設備

  • 點擊次數:
  • 發布日期:2018/07/09
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詳細介紹

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全自動半導體插片機簡介

全自動半導體插片機是專為實現半導體硅片生產自動化而設計的全自動插片、翻轉、移載、排列、輸送設備。具有自動化程度高,破損硅晶自動檢測。能消除人為造成的硅片破損和二次污染,可與清洗機實現自動化對接,方便管理和數據統計,降低人工使用和勞動強度。


設備技術參數:

硅片規格:5寸,φ125±1mm;6寸,φ156±0.5mm

硅片厚度:0.275-0.9mm

插片速度:3000-4000片/小時

料盒可載硅片數量:200-300片

適應花籃:5.6寸花籃

設備尺寸:3285x1330x1580(mm)

設備重量:960kg

設備使用條件:電源:380V x 20V 50Hz AC三相;氣源壓力:0.5MPa,φ12接口

水:自來水

環境要求:環境溫度:-5-40℃;相對溫度:≤80%


設備特點:

結構緊湊,設備個單元布局合理,功能自動連接,占地空間??;

人性化的結構和操作界面設計,便于工人操作;

插片定位入藍。機械手換藍,滿藍移載,旋轉,移位,排列定位,移載進入清洗機實現全自動。

設計有破損片自動識別,自動控制功能;

零部件設計有防水措施,使用壽命長,運行成本低,產能高;

可根據用戶的實際要求設計定制專用設備與部件。


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  上料分片          插片               抓取

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關鍵詞:硅片插片機,硅片自動插片機,半導體自動化設備

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